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平行平晶的用途特點(diǎn)
日期:2024-11-16 05:37
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摘要:
平行平晶具有兩個(gè)(或一個(gè))光學(xué)測(cè)量平面的正圓柱形或長(zhǎng)方形的量規(guī)。光學(xué)測(cè)量平面是表面粗糙度數(shù)值和平面度誤差都極小的玻璃平面,它能夠產(chǎn)生光波干涉條紋(見激光測(cè)長(zhǎng)技術(shù))。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測(cè)量高光潔表面的平面度誤差,為用平面平晶檢驗(yàn)量塊測(cè)量面的平面度誤差。平行平晶的兩個(gè)光學(xué)測(cè)量平面是相互平行的,用于測(cè)量?jī)筛吖鉂嵄砻娴钠叫卸日`差,例如千分尺兩測(cè)量面的平行度誤。平晶用光學(xué)玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為45~150毫米。其光學(xué)測(cè)量平面的平面度誤差為:1級(jí)精度的為0.03~0.05微米;2級(jí)精度的為0.1微米。常見的長(zhǎng)方形平面平晶的有效長(zhǎng)度一般為200毫米。
平行平晶是用于以干涉法測(cè)量塊規(guī),以及檢驗(yàn)塊規(guī)、量規(guī)、零件密封面、測(cè)量?jī)x器及測(cè)平晶量工具量面的研合性和平面度的常用工具。適用于光學(xué)加工廠、廠礦企業(yè)計(jì)量室、精密加工車間、閥門密封面現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)使用,也適用于高等院校、科學(xué)研究等單位做平面度等檢測(cè)。
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